EUV光源

朗道燧岩EUV光源样机亮相，国产化率达90%

朗道燧岩的极紫外（EUV）光源系统样机在第二十六届中国国际工业博览会上首次亮相。据华尔街见闻10月14日转引的上观报道，现场工作人员介绍，本次展出的光源系统国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，可用于芯片曝光测试。 这次展示的对象是EUV光源系统样机，而非整台光刻机。